1964年，合肥无线电厂（后改为合肥无线电一厂）开始研制有线电测量仪器。当年，相继仿制成功HT—3型短波电台测试仪、ZDP—1型626KHz电平振荡器，并用国产元器件研制成功中国第一台国产化ZCY—1型有线载波综合测试仪，技术性能达到当时国际先进水平。这是安徽省第一批电子测量仪器产品。
1965年，合肥无线电厂被第四机械工业部列为有线电测量仪器定点生产厂，并拨款120万元，专门发展新型有线电测量仪器。
1966年，国营光华无线电仪器厂仿制生产5厘米、2厘米微波信号源，当年生产全电子管XFL—6型、XFL—7型厘米标准信号发生器44台，并完成GLX—11型小功率计定型。
1970年，生产厂点增至5个，合肥无线电三厂、合肥无线电四厂、蚌埠市无线电一厂分别试制生产JSE—1型二极管自动测试仪、E 312型数字频率计、BT—3型频率特性测试仪、晶体管特性测试仪、万用表和SB—17型、SBE—17型示波器，电子测量仪器品种增至12个，产量达到3000多台，其中500型万用表2409台。
1972年，生产厂点增至11个，芜湖市无线电一厂、淮南市无线电一厂、铜陵市无线电厂（后改为铜陵市仪器仪表总厂）、阜阳无线电厂、六安无线电厂、池州无线电厂，分别试制生产晶体管特性图示仪、大功率晶体管特性图示仪、全动态可控硅综合参数测试仪、晶体管直流稳压电源、交流稳压电源、低频信号发生器等产品，电子测量仪器品种增至21个，产量达到4000多台，其中有线电测量仪器1550台，内有电平振荡器300台、选频电平表200台、载波综合测试仪700台、短波电台测试仪350台。
1973～1975年，微波测量仪器由电子管化向晶体管化发展，新增微波量热式功率计、微波相位计系列产品。马鞍山市无线电厂先后研制生产失真仪、毫伏计等电子测量仪器滁县无线电厂（后改为滁州无线电厂）于1973年研制成功NYL—Ⅲ型伦琴计，填补中国射线测量仪器一项空白，技术性能达到当时国际先进水平。肥东无线电厂（后改为合肥电子仪器厂）相继研制生产地震仪、监测仪。到1975年，电子测量仪器生产厂点增至14个，产量达到5340台，其中有线电测量仪器2500多台。
1976～1980年，继续扩大微波仪器规模，光华无线电仪器厂相继研制生产1～40GHz频段的相位、功率、衰减参数测量仪器，以及计量标准和标准信号源、网络分析仪等产品。合肥无线电三厂开始研制视频测量仪器，为了加快开发步伐，提高技术水平，于1978年从美国泰克公司引进电视测量仪器样机8个品种，并先后研制成功VS—19型电视示波器、XT 8A／B型全频道黑白电视图像信号发生器等产品，该厂被第四机械工业部列为全国电视测量仪器定点生产厂。有线电测量仪器品种增至19个，产量达到历史最高水平，年产3960台（1978年）。激光测距仪在蚌埠市无线电一厂研制成功并投产，为电子测量仪器增添了一个产品门类。1980年，电子测量仪器门类达到10个，品种增至200多个，产量5382台。
1981～1985年，为了提高微波测量仪器技术水平，促其向智能化发展，国营光华无线电仪器厂从国外引进CAD系统和印制电路板关键设备，相继研制成功智能网络分析仪、智能衰减校准装置、精密同轴衰减器和半导体器件、集成电路测量仪器系列产品，品种增至100多个。群时延测试仪、载波群路特性自动测试仪和电平表测试系统等有线电测量仪器先后研制成功并投产，品种增至22个。全椒无线电厂与上海市无线电二厂、上海市101厂合作，研制生产QJ—836型彩色／黑白电视信号发生器；安庆市无线电厂相继研制生产彩色图像特性效果发生器和广播程序控制器；合肥无线电三厂先后研制生产XT 14A／B型全频道彩色／黑白电视信号发生器、DC 5440型波形监视器、DC 5460型波形监视器、DC 5360型彩色同步锁相测试信号发生器等产品，使视频测量仪器的品种增至40多个。滁州无线电厂与上海大华仪表厂联营，先后生产多种台式记录仪，为安徽省电子测量仪器又增加了一个新的门类。1985年，电子测量仪器生产厂点增至16个，产品门类增至13个，品种增至260多个，产量达到8929台，创历史最高记录，居全国电子测量仪器工业第七位，其中微波测量仪器1426台、视频测量仪器2400多台、有线电测量仪器1360多台、其它各类测量仪器3700多台。
1986～1991年，合肥无线电三厂为了促进示波器的发展，投资57万美元，从日本引进示波器生产技术、专利技术和关键生产设备，使示波器的研制和生产水平取得了突破性进展，相继研制开发出DC 4322型双踪示波器、DC 4323型双踪示波器、DC 5430型矢量示波器等25个新产品，并先后批量投产，其中大多数产品达到了国内先进水平，部分产品达到国际同类产品先进水平。1987年，合肥无线电一厂生产的U X 20型电平振荡器、U D 25型选频电平表被电子工业部推荐为替代进口产品。信号源由单一品种发展成为多品种系列产品，其中阜阳无线电厂开发生产的XD 10型精密信号发生器在低失真度、幅度稳定度和频率稳定度等3项主要技术指标均达到国际同类产品先进水平；XD 11型多用信号发生器共有7种波形输出，一机多用，技术性能达到国际同类产品先进水平。1986～1991年，电子测量仪器产量徘徊在6500～7600台之间，1986年降至7349台，1988年降至6513台，1991年升至7632台；产品门类增至14个，品种达到290多种。1992年，生产电子测量仪器7415台。